Advanced Energy Impac IGA5高溫計產品描述
用于 0°C 至 1500°C 藍寶石和藍寶石晶圓溫度測量,專為對藍寶石和藍寶石晶圓進行非接觸溫度測量而設計。可以遠程配置溫度子范圍并調整參數。配備模擬輸出和數字接口,可以在計算機上存儲溫度值和數據。可針對不同應用提供不同的光學部件。
特點:
采用輸出數字線(xian)性化,精度(du)高
模擬輸(shu)出 0 或 4 至 20 mA
數字接口(kou) RS232
激光瞄(miao)準光
可(ke)調曝光時間
緊湊型設(she)計(ji)
技術參數:
溫度范圍:0°C 至 1500°C
可在溫度(du)范(fan)圍內調節至任意量(liang)程,最小量(liang)程為 51°C
光(guang)譜(pu)范圍:8 至(zhi) 9.7 µm
測量不確定性(xing):
讀數的 0.6% °C 或 3°C(Tamb.= 15°C 至 30°C)
讀數的 1% °C 或 5°C(Tamb.= 0°C 至 5°C 或 30°C 至 63°C)
(ε = 1,t90 = 1 S,Tamb. = 常(chang)量)
取較(jiao)大值;儀器必(bi)須(xu)在(zai)恒定環(huan)境(jing)溫度下保持至少(shao) 60 分鐘,且需(xu)要連接到電源
可(ke)重復性:讀數的(de) 0.3% °C 或 0.6°C(ε = 1 時,t90= 1 s)
取較大值。儀器必須在恒定環境溫(wen)度下保持至少 30 分鐘。
曝(pu)光時間 t90:0.18 s;可(ke)在(zai)高溫計中調節:0.5 s、1 s、2 s、5 s,可(ke)通過接口調節:0.5 s、1 s、2 s、5 s、10 s、30 s
防護(hu)等(deng)級:IP65 (DIN 40050)
環境溫度:0°C 至 63°C
存放(fang)溫度:-20°C 至 70°C
相對濕(shi)度(du):無冷凝條件
重量:約(yue) 0.41 千克
外殼:不銹鋼
通過(guo) CE 認證:符(fu)合歐盟關(guan)于電磁抗(kang)擾(rao)度的指令
電(dian)源:24 V DC(18 至(zhi) 30 V Dc)公稱,紋波必須小(xiao)于(yu) 0.5 V
功耗:最(zui)大(da) 70 mA
負(fu)載: 24 V 時最(zui)大(da) 500 ?(18 V 時最(zui)大(da) 200 ?)
隔(ge)(ge)離:電源、模擬輸出和數字(zi)接(jie)口相互電隔(ge)(ge)離
高(gao)溫(wen)計(ji)的測(ce)量誤差主(zhu)要來源(yuan)于:
①中(zhong)間媒(mei)質(如大氣等)的(de)(de)選(xuan)擇吸收作用,使達到(dao)接受(shou)器(qi)的(de)(de)輻射能(neng)量中(zhong)紅外部分損失較多;
②沒有按(an)規定的(de)熱源(yuan)到(dao)高(gao)溫計(ji)(ji)的(de)距離進(jin)行測(ce)量(通常每種輻射(she)高(gao)溫計(ji)(ji)對于被觀測(ce)面面積的(de)直徑與高(gao)溫計(ji)(ji)透鏡間的(de)距離都規定了比值(zhi));
③各種高溫計中接(jie)受器的(de)選擇(ze)吸收特性(xing)不同,致(zhi)使光譜發射率偏離選取(qu)值;④熱(re)電(dian)堆(dui)冷熱(re)端溫度的(de)改(gai)變、儀表(biao)的(de)誤(wu)差(cha)等。
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